掃描電鏡大家并不陌生，在巖土、石墨、陶瓷及納米材料等的研究上有廣泛應用，它比普通顯微鏡貴很多，所以sem掃描電鏡的日常維護更為重要。下面由小編介紹下它的日常維護方法：

1.保持掃描電鏡的操作臺面整潔，不允許身體倚靠，凍水機等裝置不可放置重物。

2.開機時一定要先開水冷系統,并要檢查冷卻水的溫度，關機至少15分鐘后才能關閉冷卻水。

3.進樣品時,檢查Z軸和T軸的位置，緩緩關閉樣品室,確保進樣倉門徹底關閉,才可點擊EVAC按鈕抽氣。

4.移動樣品，通過配合移動Stage Driver 將載物臺向X軸和Y軸方向移動，從而移動樣品，并保證小于更大允許值。

5.傾斜樣品，-10°~+45°，要十分當心，不要撞壞探頭。要根據樣品臺和樣品狀況選擇傾斜角度，注樣品可傾斜的更大安全角度要小于允許值，防止樣品撞傷物鏡尤靴。

6.用BSE探頭時不可傾斜樣品臺。

7.樣品只有在加速電壓關閉的情況下才可取出，不作樣品掃描時要關閉高壓。

8.放氣時HT要處于關閉狀態(tài)，要等待120秒后才可輕輕拉開樣品交換倉的門。

9.更換鎢燈絲時， 等待兩分鐘時間，然后打開電子槍，用專門的器具取出鎢燈絲連同鎢燈絲罩，以免被燙傷。

10.sem掃描電鏡需要手動調節(jié)的部分主要有光闌,象散，工作距離調節(jié)的旋鈕等，其他部件不允許調整。

11. 每周加兩到三次液氮，兩次間隔不超過四天。

上面11條內容就是小編整理的掃描電鏡的日常維護方法，更多關于sem掃描電鏡的問題歡迎撥打網站上面的電話咨詢小編。